四探針電阻率測試儀是用于精確測量半導體器件（主要是硅單晶、鍺單晶體、單晶硅片）電阻，及其擴散層、外延性層、ITO導電性箔膜、導電膠方塊電阻的檢測儀器。電阻率測試儀的使用要特別注意下面事項：

　　1、測試電源，電源電壓值應當在220V上下，工作電壓偏差不可以過2%，不然危害檢測校準，偏差過大甚至于會損壞電源電路。（AC110V使用必須配置AC110V轉AC220V電壓轉換器）

　　2、接好測試連接線，測試線連接到儀器設備處時，盡量保證儀器設備上電源插座的突起與測試連接線電源插頭的凹形槽相匹配好，并將螺圈扭緊。

　　3、接好電源插頭；通電，電源開關的開關電源燈照亮（若開關電源燈不閃，四探針電阻率測試儀需要拆換在后控制面板電源線插頭處的熔斷絲，規格型號為1A）。

　　4、將測試探針觸碰被測的試品：n照亮意味著N型的半導體器件；p照亮意味著P型原材料；假如碰到2個數碼顯示管均沒亮，般狀況下以很低的電阻（<10-2下面），這時，無源蜂鳴器和綠燈應處于警報情況。

　　5、綠燈亮及無源蜂鳴器響時為設置的低電阻器下面及重摻警報。

　　6、四探針電阻率測試儀在測定時，為保證檢測致性，探頭需豎直點在接觸面積上，探頭的大歪斜視角不可以過20度；探頭檢測時切勿用力壓究竟，以扭簧縮的限長短為限。檢測時，探頭入針套3/4以上，那樣可以運用扭簧的能量使精確測量的致性優良。